О перспективах применения маскирующей пластины в оптической промышленности

Во-первых, основная функция и важностьверсия маски

Рольмаска пластиназаключается в переносе рисунка схемы дизайнера на подложку или пластину в последующей промышленности путем воздействия, чтобы добиться массового производства. В качестве эталона и образца литографической репродукции,маски пластиныявляются ключом к объединению промышленного дизайна и непрерывного производства. Точность и уровень качествамаска пластинанапрямую повлияет на превосходную скорость конечного продукта переработки. В области интегральных схем функциямаска пластинааналогичен «негативу» традиционной камеры. Совместно с литографической машиной и фоторезистом созданный рисунок намаска пластинапереносится на фоторезист подложки в процессе экспонирования и проявления, чтобы скопировать изображение и добиться массового производства.

Применениемаска пластинав оптической промышленности в основном отражается в области производства полупроводников, плоских дисплеев, сенсорных экранов и печатных плат. Если взять в качестве примера производство полупроводников, томаска пластинанеобходимо пройти через несколько процессов воздействия в производственном процессе, а эффект маскировки воздействиямаска пластинаиспользуется для формирования затвора, стока истока, окна легирования и контактного отверстия электрода на поверхности полупроводниковой пластины. При производстве плоских дисплеев спроектированная матрица TFT и рисунок цветового фильтра экспонируются и переносятся на стеклянную подложку в соответствии с последовательностью структуры пленочного слоя тонкопленочного транзистора с использованием эффекта маскировки экспозиции.маска пластинаи, наконец, формируется устройство отображения с множеством слоев пленки.

Во-вторых, маска-версия технических изменений и классификации.

Пластина маскиПродукция имеет более чем 60-летнюю историю и используется в электронной промышленности. Эволюция технологии масок идет медленно, но ее дальнейшее применение широко распространено, в разных отраслях предъявляются разные требования к производительности и стоимости версии маски, а разные поколения продуктов имеют длительный период перекрытия. Например, второе поколение пленочной маски появилось в начале 1960-х годов и до сих пор используется в печатных платах, FPC, TN/STN и других отраслях.

В зависимости от различных материалов подложки,маска пластинаможно разделить напластина кварцевой маски, тарелка с содовой маскойи другие (сухая пластина, рельефная пластина и пленка и т.п.). Среди них кварцевое стекло высокой чистоты в основном используется для изготовления высокоточных масочных пластин из-за его высокого оптического пропускания, высокой плоскостности и низкого коэффициента теплового расширения, а области его применения включают производство плоских дисплеев и производство полупроводников. Пластина для маски соды и другие материалы в основном используются в низкоточныхмаска пластинаПродукты, областью применения является производство жидкокристаллических дисплеев и печатных плат.

С точки зрения последующих областей применения версию маски можно разделить на версию маски плоского дисплея и версию полупроводниковой маски. Версия маски панели разделена на несколько поколений в зависимости от размера панели, например G4, G5, G6, G8.5, G8.6 и G11. Полупроводниковую маску можно разделить на производство интегральных схем, корпусов интегральных схем, производство полупроводниковых устройств (включая дискретные устройства, оптоэлектронные устройства, датчики и микроэлектромеханические устройства (MEMS), производство эпитаксиальных пластин светодиодных чипов и т. д.) в зависимости от конкретной области применения. Кроме того, в зависимости от различных источников света, используемых в процессе литографии, пластину-маску также можно разделить на пластину с бинарной маской, пластину с фазовым сдвигом и пластину с маской EUV.

В-третьих, статус применения версии маски в оптической промышленности.

Благодаря технологическому прогрессу и рыночному спросу мировая индустрия масочных пластин продолжает быстро развиваться. По оценкам SEMI, объем мирового рынка масок вырастет до 5,2 млрд долларов в 2022 году, а общий размер рынка составит около 5,4 млрд долларов в 2023 году. В Китае объем рынка масок в 2021 году составит 10,80 млрд юаней, а общий объем рынка в 2022 году составит около 12,636 млрд юаней.

В оптической промышленности применение версии маски в основном отражается в следующих аспектах:

Производство полупроводников: Маска является незаменимым ключевым материалом в процессе производства полупроводников. Благодаря постоянному развитию полупроводниковых технологий точность и сложность маскирующей пластины постоянно улучшаются, чтобы соответствовать требованиям меньшей ширины линии и более высокой точности. Например, при литографии в крайнем ультрафиолете (EUV) пластина-шаблон должна выдерживать высокую энергию EUV-излучения, поэтому требуются новые материалы и технологии производства.

Плоский дисплей: индустрия плоских дисплеев является одним из крупнейших рынков применения масок. Благодаря постоянному развитию технологий панелей, таких как TFT-LCD, AMOLED/LTPS, Micro-LED, маскирующая пластина играет все более важную роль в процессе производства плоских дисплеев. Посредством маскировки экспозиции пластина маски последовательно переносит разработанную графику на стеклянную подложку, образуя устройство отображения, на которое накладываются несколько слоев пленки.

Сенсорный экран: В процессе производства сенсорного экрана также необходимо использовать версию маски. Версия с маской переносит разработанный сенсорный рисунок на подложку сенсорного экрана посредством процесса экспонирования для достижения массового производства сенсорных функций.

Печатная плата: В процессе производства печатной платы пластина-маска используется для переноса спроектированного рисунка схемы на печатную плату для достижения массового производства печатной платы. Хотя требования к точности маскировочной пластины в производстве печатных плат относительно низкие, маска по-прежнему остается незаменимым ключевым материалом.

В-четвертых, перспективы развития масочной пластины в оптической промышленности.

Перспективы развития маскирующих пластин в оптической промышленности широки, в основном обусловлены следующими факторами:

Технический прогресс: с постоянным развитием технологии литографии точность и сложность маскирующих пластин продолжают улучшаться. Например, появление EUV-литографии выдвинуло более высокие требования к материалу и технологии изготовления маскирующих пластин. Чтобы удовлетворить эти требования, производители масочных пластин продолжают разрабатывать новые материалы и процессы, способствующие постоянному развитию технологии маскирующих пластин.

Рост рыночного спроса. Благодаря постоянному развитию бытовой электроники, бытовой техники, автомобильной электроники, сетевых коммуникаций и других областей спрос на полупроводники, плоские дисплеи, сенсорные экраны и другие продукты продолжает расти. Производство этой продукции требует использования маскирующих пластин, поэтому рыночный спрос на маскирующие пластины имеет тенденцию постоянного роста.

Развитие новых областей применения. С постоянным развитием новых областей, таких как Интернет вещей, искусственный интеллект, связь 5G, растет спрос на высокопроизводительные, высокоинтегрированные полупроводниковые и плоские дисплеи. Развитие этих новых областей применения открывает новые рыночные возможности и возможности для роста производства масок.

Политическая поддержка и капитальные вложения: Правительства ввели политику поддержки развития полупроводниковой промышленности, производства плоских дисплеев и других отраслей, а также содействуют скоординированному развитию восходящих и последующих звеньев соответствующей производственной цепочки. В то же время в эти области также влились венчурный капитал и фонды прямых инвестиций, обеспечив достаточную финансовую поддержку для развития индустрии масок.

V. Заключение

Маскирующая пластина имеет широкую перспективу применения в оптической промышленности, а ее технический прогресс и рыночный спрос демонстрируют положительную тенденцию роста. Благодаря постоянному развитию полупроводниковой, плоскопанельной, сенсорной и других отраслей промышленности спрос на маски будет продолжать расти. В то же время развитие новых областей применения также открывает новые рыночные возможности и пространство для роста версии маски. При содействии политической поддержке и капиталовложениям индустрия масочных пластин откроет более широкие перспективы развития.

Однако развитие индустрии масочных пластин также сталкивается с некоторыми проблемами. Например, скорость замены технологии масок медленная, но требования к точности и сложности версий масок постоянно растут для последующих приложений. Поэтому производителям маскирующих пластин необходимо постоянно разрабатывать новые материалы и процессы для удовлетворения потребностей последующих применений. Кроме того, развитие безмасочных технологий также оказало определенное конкурентное давление на индустрию масок. Хотя безмасочная технология в основном используется в областях с относительно низкими требованиями к точности, ее эффективность производства высока, и в будущем в некоторых областях можно заменить технологию масочной версии.

Таким образом, применение маскирующих пластин в оптической промышленности имеет широкие перспективы, но также сталкивается с некоторыми проблемами. Производителям масок необходимо постоянно разрабатывать новые технологии и процессы, чтобы удовлетворить потребности последующих приложений и опережать рыночную конкуренцию. В то же время правительство и соответствующие учреждения должны также усилить политическую поддержку и финансовые инвестиции, чтобы способствовать здоровому развитию индустрии масок.